漢鐘PD變距系列干式螺桿真空泵主要特點(diǎn)： 漢鐘螺桿真空泵排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積 hanbell干式螺桿真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵內(nèi)的傳輸路徑最短，最不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象。 漢鐘螺桿真空泵線形密封性佳，泵浦性能最佳 Hanbell干式螺桿真空泵，專(zhuān)利轉(zhuǎn)子密封線形，轉(zhuǎn)子密封性佳，轉(zhuǎn)子能以較大的嚙合間隙達(dá)到更快的抽氣效果，由于漢鐘真空泵的嚙合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。 漢鐘螺桿真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，故障率低，維護(hù)容易 Hanbell干式螺桿真空泵因只需要利用一對(duì)轉(zhuǎn)子相互嚙合達(dá)到密封效果，結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計(jì)，降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風(fēng)險(xiǎn)。且因其結(jié)構(gòu)單純，拆卸維修也比較容易，因此能縮短維修時(shí)程，降低維修費(fèi)用。 漢鐘螺桿真空泵微電腦操作，遠(yuǎn)端監(jiān)控，保護(hù)周全 Hanbell干式螺桿泵微電腦控制器提供真空最簡(jiǎn)易的操作方式并能顯示真空泵完整的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，方便使用者對(duì)泵應(yīng)用狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整，在真空泵產(chǎn)生問(wèn)題前進(jìn)行預(yù)防保養(yǎng)。遠(yuǎn)端監(jiān)控系統(tǒng)能夠提供使用者方便的監(jiān)控工具，使用者不需到現(xiàn)場(chǎng)就能夠了解真空泵的運(yùn)行狀態(tài)。 漢鐘螺桿真空泵典型應(yīng)用： 面板TFT-LCD, Touch Panel 太陽(yáng)能Solar 冶金系統(tǒng)Metallurgical System 鍍膜Coating 電漿制程Plasma processes 干燥處理Drying Process 制程氣體抽取Degassing 生技/制藥Biotech/Pharmaceutical 化工產(chǎn)業(yè)Chemical Industry 鋰電池Battery 機(jī)型Model 單位Unit PDF110 PD120 PD300 PD400 PD650 PD800 抽氣速度 Pumping Speed (50Hz/60Hz) l/min 1800 1667/2000 4167/5000 5556/6667 9030/10840 11011/13233 m3/hr 110 100/120 250/300 333/400 540/650 680/800 Cfm 65 59/71 147/176 196/236 317/382 393/471 終極壓力 Ultimate Pressure Torr ≤7.5*10-3 mbar ≤1*10-2 Pa ≤1 馬達(dá) Motor 頻率Frequency Hz 50/60 電壓Voltage V 220-440 額定功率 Rated Power Hp 3 4/4.8 8/10 15/20 25/30 25/30 kW 2.2 2.98/3.58 6.7/7.5 11/15 18.5/22 18.5/22 連接 Connection 進(jìn)氣口Inlet ? NW50 NW50 ISO63 ISO63 ISO100 ISO100 排氣口Outlet ? NW25 NW40 NW40 NW40 ISO63 ISO63 冷卻水 Cooling Water 接頭Connection RC3/8 壓力Pressure Mpa 0.2—0.4 溫度temperature ℃ 25 3slm18℃-6slm28℃ 6slm18℃-15slm28℃ 流量 Flow l/min? 1 氮?dú)? N2 壓力Purge Pressure MPa 0.15-0.2 稀釋流量 Dilute flow L/min By process 密封流量 Sealing foow L/min 10 接頭Connection ? Swagelok 1/4" Swagelok 3/8" 尺寸Dim. 長(zhǎng)×寬×高L×W×H mm 398*358*551 814*380*663 1075*430*650 1582*700*757 1831*610*735 1831*610*735 重量Weight Kg 132 280 390 750 1050 1050 噪音Noise dB(A) ≤68 ≤66 ≤70 ≤72 ≤75 ≤75 系統(tǒng)最大漏率 System Max. Leak-rate mbar.l/s 1*10-5 室溫操作范圍Operation Temp. ℃ 5-40 操作濕度Operation Moisture RH 90%以上