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1、煙氣脫硫液體吸收法：是用液體吸收廢氣中有害物質或蒸氣的方法，是有害氣體回收或凈化最常用的方法。包括溶解吸收法和發生化學反應的吸收法，常用吸收劑有水、堿或其他溶劑。

2、冷凝法：是使處于蒸氣狀態的有害物質冷凝為液體（或固體）與氣體分離。例如用冷凝法回收汞蒸氣。

3、吸附法：用固體吸附劑，吸咐廢氣中的有害物質。常用吸附劑有流行性炭、硅膠、分子篩、活性氧化鉛等。

4、催化轉化法：可分為催化氣化法和催化還原法兩種，是指在催化劑作用下，使廢氣中有害物質氣化或還原為無害或易處理的另一種物質形態。

5、燃燒法：將廢氣中有害物質燃燒變為無害物質，主要適用于處理那些可燃的或在高溫下易分解的有害氣體。