氟化氫分子量為20，理論上比空氣（29）輕，但在實際工業環境中，HF極易與水蒸氣結合形成酸霧，且受溫度、壓力影響，絕大多數工程規范按"比空氣重"處理，即：
安裝高度：距地面 30～60 cm，傳感器朝下。
若現場存在明顯熱源或強通風導致氣體上升，則調整至距頂棚 30～60 cm 處。
| 優先區域 | 具體位置 | 原因 |
|---|---|---|
| 儲罐區 | 罐體底部四周、管道連接處 | HF泄漏后易沉積低處 |
| 管道系統 | 法蘭、彎頭、閥門附近 | 接頭處最易泄漏 |
| 工藝設備 | 蝕刻機、反應釜排氣口下方 | 捕捉工藝逸散 |
| 通風不良區 | 車間角落、泵房內 | 氣體易積聚 |
| 疏散通道 | 距地面40cm墻面 | 保障人員安全 |
露天安裝時，應位于主導風向的下風側，距離釋放源5m以內，并加裝透氣防水罩。
| 禁止項 | 具體要求 |
|---|---|
| ? 蒸汽/油煙直吹 | 廚房、鍋爐房附近不行 |
| ? 強通風口 | 給氣口、換氣扇、房門旁不行——氣體被快速稀釋，檢測失效 |
| ? 高濕度 | 相對濕度 ≥95%RH 時傳感器可能受潮失效 |
| ? 極端溫度 | 長期低于 -40℃ 或高于 65℃（部分型號70℃）會損壞設備 |
| ? 強電磁場 | 電機、變頻器旁避免電磁干擾 |
| ? 陽光直射/雨水淋濕 | 加速設備老化 |
| 項目 | 要求 |
|---|---|
| 線纜 | 三線制（電源+、信號、電源-），必須用屏蔽電纜（RVVP 3×0.75或以上） |
| 接地 | 屏蔽網單端接地，強制接地防止靜電積聚 |
| 走線 | 電源線與信號線避免平行，交叉保持90°；信號線穿金屬管或防爆軟管 |
| 防爆場所 | 必須選用防爆型（ExdⅡCT6），傳感器朝下固定、密封外蓋，電纜穿金屬管 |
| 供電 | DC 12V～30V 或 DC 24V，電壓穩定，嚴禁帶電開蓋操作 |
| 周期 | 事項 |
|---|---|
| 每3～6個月 | 校準傳感器（電化學式），用 PTFE 管路 + 316L不銹鋼減壓器，通氣流量約 1000 mL/min |
| 定期 | 清潔探頭外殼，避免灰塵/油污堵塞 |
| 2～3年 | 更換傳感器（到期或故障時立即換） |
| ?? | 校準用減壓器和管路不可與 H?S、SO? 等還原性氣體混用；傳感器不可接觸硅類化合物，會導致中毒失效 |
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